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Nikon L200/L200D高倍金相显微镜专为8寸晶圆及大面板LCD/TFT产业开发设计。同样采用**的CFI60无穷远高对比度光学系统,并提供高达25mm的广阔视野。
◆L200:表面落射,L200D:表面落射/ 底部透射
◆倍率:25×-1500× (明暗场可以选择)
◆专配L2-S8 8x8 移动载物台(移动范围200X200mm)
◆8寸晶片(可加装专业的Wafer holder )
◆可以选配专业偏光(Polarizer)
◆可以选配微分干涉棱镜(DIC)
◆可以附加NIKON 专业数码相机及CCD影像扩展
◆可以选配专业半导体8寸晶片自动装载机配合使用
L300/L300D尼康半导体显微镜
L300 L300D
Nikon L300/L300D高倍金相显微镜专为12寸晶圆及大面板LCD/TFT产业开发设计。同样采用**的CFI60无穷远高对比度光学系统,并提供高达25mm的广阔视野。
◆L300:300 mm硅片, L300D:300 mm硅片或17″FPD。
◆观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
◆使用CFI60光学系统,彻底消除耀斑影响,对比度更高,成像更加清晰、明亮;
◆物镜齐焦距为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
◆主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
◆采用可调心的6孔电动物镜转换器;
◆光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
◆DIC观察采用全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜,结构简单,成像质量高。
L200/L300尼康半导体显微镜