产品资料

MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜
产品型号: MX61/MX61L
产品展商: 奥林巴斯
产品价格: 0.00 元
折扣价格: 0.00 元
产品文档: 无相关文档

简单介绍

MX61/MX61L奥林巴斯半导体显微镜200mm半导体检查显微镜/300mm晶圆FPD检查显微镜 • 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆**检查(MX61L) • 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利 • 多种观察方式多种照明方式多种附件以满足不同应用要求 • 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果


MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜  的详细介绍
MX61/MX61L奥林巴斯半导体显微镜

200mm半导体检查显微镜/300mm晶圆FPD检查显微镜

 

• 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆**检查(MX61L)

• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利

• 多种观察方式多种照明方式多种附件以满足不同应用要求

• 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果

奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时,提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和**的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。高反差,更高分辨率,更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。

备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的**检查。

   ○  大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆**检查(MX61L)

   ○  采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利

   ○  多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求

   ○  透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果

MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜 MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜 MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜MX61/MX61L奥林巴斯Olympus半导体显微镜

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

苏公网安备 32059002001852号